오늘KLA Instruments는 파워 디바이스 응용을 위한 Candela^®8520 결함 검사 시스템을 발표하였습니다. 이 제품은 임무수행에 필수적인 지형학적이고 결정학적인 결함의 모든 검출 기능을 하나의 플랫폼에 통합한 최초의 검사 시스템인 Candela^®CS920 시스템의 후속작입니다.

Candela^®8520은 전작에 비해 속도가 두 배 더 빠르기 때문에, 빠르게 성장하는 파워 디바이스 시장을 위하여 수율 향상의 속도를 높이는 데 도움이 됩니다. Candela 8520 웨이퍼 검사 시스템은 웨이퍼의 적층 결함(stacking fault)이나 애피택셜 성장(epitaxial growth) 후의 기저면 변위(basal plane dislocation, BPD)와 같은 치명적 결함 검출의 한계를 극복하는 능력을 갖추고 있습니다. 또한 이 시스템은 온-툴 결함 리뷰, 다이 등급부여, 등고선 지도와 같은 분석 도구를 제공합니다. 이 시스템은 공정 엔지니어들이 정확한 교정 작업을 수행하는 데 도움이 되는 종합적인 검사 보고서를 생성할 수 있습니다.

Candela 8520는 마이크로관 및 마이크로피트 결함, 캐롯 결함, 기저면 변위, 적층 결함, 계단 군집과 같은 여러 결함을 정교하게 구분하기 위하여 사용할 수 있으며, SiC 기판과 SiC 에피택셜 공정 제어에 문제를 일으킬 수 있는 큰 지형학적 결함을 찾아낼 수 있는 다섯 가지 상호 보완적 검사 기법들을 조합하였습니다.

다크필드, 브라이트필드, 경사, 위상, 광발광(PL) 기법을 처리 속도가 향상된 하나의 플랫폼에 조합함으로써 파워 디바이스 제조업체에 높은 가치를 제공합니다.

Candela 8520 검사 시스템은 탁월한 성능과 생산성을 유지할 수 있도록KLA의 글로벌 종합 서비스 네트워크의 지원을 받습니다.

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