컴파운드세미| MEMS | HDD제조
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解放军는전력소자,射频커뮤니케이션,领导,포토닉스,MEMS, CPV太阳能및디스플레이제조를위한계측,측정과데이터분석을지원하는종합포트폴리오를보유하고있습니다。고조领导도는고체조명및자동차애플리케이션에서보편화되고있으며领导소자제조업체들은공격적인비용과성능개선을타겟로하기때문에개선된공정제어및수율이더욱강조되고있습니다。유사하게선도전력소자제조업체들은개발및램프시간가속,화제품수율인상및저비용을타겟으로하여수율을제한하는결함및공정을특성화하기위한솔루션을구현하고있습니다。解放军의검사,계측및데이터분석시스템은제조업체가공정을제어하고수율을개선할수있도록지원합니다。
카테고리
8시리즈
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고생산성 패턴 웨이퍼 광역 검사 시스템
8시리즈패턴웨이퍼검사시스템은생산공정문제를빠르게식별하고해결하기위해다양한결함유형을단시간에대량의속도로감지합니다。8시리즈는초기제품개발부터대량생산에이르기까지150毫米,200毫米또는300毫米실리콘및비실리콘기판을대상으로비용대비효과적인결함모니터링을제공합니다。최신형8935검사기는새로운광학기술과DesignWise®및FlexPoint™정밀영역검사기술을채택하여칩오류를일으킬수있는심각한결함을포착합니다。DefectWise®AI기술을사용하면결함유형을빠르게인라인으로분리하여결함발견및비닝(装箱)을개선할수있습니다。8935年이러한혁신을통해는수율생산캡처를높이고신뢰성관련결함을낮은비율로유지함으로써최첨단노드팹및레거시노드팹모두가제품을보다낮은비용으로안정적으로제공할수있도록지원합니다。
8시리즈용玛莉®자동화인라인다이스크리닝솔루션에대해자세히알아보시려면이곳을 클릭하세요.
애플리케이션
프로세스모니터,툴모니터,출하품질관리(OQC)
관련제품
CIRCL: 8시리즈검사기술은전면,후면및가장자리의모든표면웨이퍼측정을위하여설계된CIRCL결함검사,계측및리뷰클러스터의사양으로사용할수있습니다。
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자동화 결함 및 수율 데이터 분석
克劳利®缺陷자동화결함분석및데이터관리시스템은시스템의역할을담당합니다。수율학습주기를가속화시킵니다。Klarity缺陷을위한Klarity®SSA(공간시그니처분석)분석모듈은공정문제를나타내는결함시그니처를자동적으로검출및분류합니다。克劳利®ACE XP첨단수율분석시스템은外事局내그리고外事局에걸쳐수율가속화를위해수율학습을검출,유지및공유하도록지원합니다。Klarity시스템은직관적인결정흐름분석을활용하여엔지니어들이很多분류,리뷰샘플링,결함원인분석,SPC설정및관리와공정사고알림등의애플리케이션을지원하는맞춤형분석을손쉽게수립할수있도록합니다。Klarity缺陷,Klarity SSA및Klarity ACE XP는자동적으로결함검사,분류및리뷰데이터를관련근인및수율분석정보로전환하는外事局전체에걸친수율솔루션을수립합니다。Klarity데이터는IC,패키징,컴파운드세미및HDD제조업체가신속하게시정조치를취하여수율을가속화하고시장출시를앞당길수있도록지원합니다。
WI-2280
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다층기판 결함 검사 및 계측 시스템
WI-2280자동화 광학 검사 및 계측 시스템은 다양한 웨이퍼 기판에서 마이크로 전자 소자를 측정하고 검사하며 发光二极管과 기타 집적 회로 애플리케이션을 위한 웨이퍼 수준 패키징 및 다이싱 후 품질 관리를 지원합니다. FFC또는 후프 링 상의 다이싱된 웨이퍼와 2.에서 8.인치의 전체 웨이퍼 처리가 가능합니다. 검사 및 二维계측 역량을 갖춘 WI-2280시스템은 웨이퍼 표면 품질, 웨이퍼 다이싱 품질, 임계 치수 및 범프, 패드 및 铜필러의 오버레이 품질에 대한 피드백을 제공합니다. 이 시스템은 신속한 수율 학습과 개선된 공정 제어를 위한 결함 리뷰 및 재분류를 제공하는 虹膜（ICOS）리뷰 및 분류 소프트웨어)를 탑재하도록 설계되었습니다.
烛光®8xxx
컴파운드 반도체 소재를 위한 첨단 표면 검사
烛光®8720컴파운드 반도체 소재 표면 검사 시스템은 전력 소자, 통신 및 射频소자와 첨단 领导(향후 微型发光二极管도 포함) 생산에 중대한 영향을 미칠 수 있는 결함에 대해 고감도의 赣-관련 소재, 砷化镓기판과 에피 공정 제어를 가능하게 합니다. 고유의 광학 설계와 검출 기술을 탑재한 坎德拉8720은 현재 검사 방법으로는 일관되게 파악하지 못하는 초미세 결함을 검출 및 분류하여 수율을 제약하는 결함에 대한 생산 라인 모니터링을 지원합니다.
烛光®CS920
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광발광 계측 및 표면 결함 검출을 위한 통합 솔루션
전력소자제조업체를위한烛光®CS920碳化硅기판 및 에피택시（epi）웨이퍼 표면 결함 검사 시스템은 전체 표면 고감도 결함 검사 및 정확한 공정 피드백을 제공합니다. 해당 에피 웨이퍼 표면 결함 검출 시스템은 산업 내에서 碳化硅에피 및 실리콘 상의 赣공정에 대한 에피택셜 성장 수율을 최적화하고 碳化硅기판 품질을 개선하도록 지원합니다. CS920은 표면 아래의 기초면 전위 및 전체 에피 스태킹 오류를 포함한 수율에 중대한 영향을 주는 결함을 검출할 수 있는 단일 검사 플랫폼 내 광발광 및 표면 결함 검출 기술을 통합하여 원인 파악 시간을 줄이고 수율을 상당히 개선합니다.
애플리케이션
공정 모니터, 툴 모니터, 입고 품질 관리, 출고 품질 관리상세한제품상담을원하시나요?
문의烛光®71 xx
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하드 디스크 드라이브 미디어 및 기판 결함 검사 및 분류 시스템
하드 디스크 드라이브 제조를 위한 坎德拉®71xx시리즈 첨단 미디어 및 기판 결함 검출 및 분류 시스템은 수율을 극대화하고 하드 디스크 검사 비용을 낮춥니다. 듀얼 광학 경로 구성은 마이크로 피트, 범프, 이물 및 매립된 결함 등의 중대한 영향을 미칠수 있는 미세 결함에 대한 고유의 결함 시그니처 분류를 가능하게 합니다. 坎德拉7110구성은 검사를 위한 기판의 수동 로딩을 지원하며 坎德拉7140은 완전히 자동화된 카세트-투-카세트 기판 로딩을 제공합니다.
고민감 （协）옵션은 유리 원판 및 금속 기판 검사에 대한 첨단 민감도 및 검출율을 제공합니다.
애플리케이션
하드디스크드라이브공정및툴모니터링상세한제품상담을원하시나요?
문의烛光®63xx
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하드 디스크 드라이브 미디어 및 기판 형상 측정 및 결함 검사 시스템
烛光®63xx듀얼 레이저 기반 검사 시스템은 하드 디스크 기판 및 완성 미디어에 대한 표면 검사를 제공합니다. 고유의 멀티 채널 광학 설계를 통해 매끄러운 금속과 유리 기판에 대한 조도(거칠기) 및 파형 계측 측장이 가능합니다. 이물 및 스크래치 등의 결함은 동일한 플랫폼을 사용하여 자동 검출 및 분류할 수 있습니다. 坎德拉6310은 실험실과 소량 생산에 적합한 수동 시스템이며 坎德拉6340은 생산 환경을 위한 자동 카세트-투-카세트 시스템입니다.
애플리케이션
하드디스크드라이브공정및툴모니터링상세한제품상담을원하시나요?
문의ZetaScan
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문의ZetaScan
비정형 및 대규모 기판의 고처리량 결함 검사
ZetaScan시리즈고처리량결함검사및분류시스템은디스플레이및太阳能산업의유리기판,평판패널및기타기판에서사용됩니다。소규모레이저스캐닝스팟및4개의동시검사채널을보유한ZetaScan시리즈는거친표면,연,마비연마,불투명및투명기판과박막유리또는접합웨이퍼를포함한다양한기판상에서중대한영향을미치는결함을검출하고분류합니다。멀티모드접근법을검사에활용하는ZetaScan시리즈결함검사기는높은처리량수준에서높은수준의결함민감도를제공합니다。
애플리케이션
유리 웨이퍼 결함 검사, 웨이퍼, 디스크 기판/미디어 상의 거친 박막상세한제품상담을원하시나요?
문의传感器阵列®过程探针™ 2070
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문의传感器阵列®过程探针™ 2070
原位평판패널온도모니터링시스템
过程探针™ 2070계측 유리 타일은 다수의 평면 패널 공정 애플리케이션을 위한 유리 온도 프로파일의 신뢰도 높은 原位특성화에 대한 비용 효율적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 단일 대형 유리 패널 대신 다수의 계측된 글래스 타일을 사용하는 工艺探头2070은 공정 챔버 내 발열체 상에서 원하는 위치에 열전대 센서를 위치할 수 있도록 합니다. 이러한 유연한 제품 설계는 液晶显示器및 기타 대형 유리 패널 애플리케이션에 대한 온도 측정을 간소화하며 고정밀 공정 인증 및 최적화를 가능하게 합니다.