기판제조
기판제조
解放军의기판제조포트폴리오는기판제조업체들이전체웨이퍼제조공정에걸쳐품질을관리하도록지원하는결함검사및리뷰,계측및데이터관리시스템을포함합니다。전문웨이퍼검사및리뷰툴은출고웨이퍼인증의주요일환으로써생산중에결함을검출,계산및폐기하고웨이퍼표면품질을평가합니다。웨이퍼기하구조는정밀하게제어된웨이퍼형상측정으로웨이퍼형태가완전히평평하고두께가균일하도록합니다。데이터분석및관리시스템은수율손실로이어질수있는기판제조공정사고를선제적으로파악합니다。解放军의기판제조시스템은공정개발,생산모니터링과실리콘,프라임실리콘,SOI,사파이어,유리,砷化镓,碳化硅、氮化镓,输入,GaSb,通用电气,LiTaO3.，林波3.및에피택셜웨이퍼등다양한기판유형의최종품질확인을지원합니다。
카테고리
Surfscan®
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패턴이없는웨이퍼결함검사시스템
Surfscan®SP7XP패턴없는웨이퍼검사시스템은첨단로직과메모리소자의성능과신뢰성에영향을주는결함과표면품질문제를식별합니다。이시스템은설비,공정,재료,EUV리소그래피에사용되는재료를포함해서품질검증및모니터링을통해서IC, OEM,재료및기판제조를지원합니다。Surfscan SP7XP은DUV레이저와최적화된검사모드를사용함으로써첨단노드연구개발을위한최고의감도를제공하고,대량생산을지원하기위한빠른처리속도를지원합니다。위상대조채널(PCC)과수직입사(NI)를비롯한상호보완적인검출모드는어떤공정도거치지않은웨이퍼,매끄러운박막과거친박막,감광막와리소그래피적층에서나타나는특유의결함들을검출합니다。혁신적인머신러닝알고리즘을사용하는영상기반결함분류(基于图像的缺陷分类,IBC)는결함원인확인에걸리는시간을단축하며,Z7™분류엔진은3 d NAND및후막(厚膜)에대한응용을지원합니다。
Surfscan SP7XP브로슈어를다운로드하려면여기를클릭하세요。
애플리케이션
공정품질검증,설비품질검증,설비모니터링,웨이퍼출고검사,웨이퍼수입검사,EUV감광막및스캐너품질검증,공정문제원인분석관련제품
SurfServer®：호환Surfscan시스템사이에레시피를옮겨사용하는것을편리하게해서外事局내의설비군관리를간소화하는데도움이되는레시피관리시스템
Surfscan SP7:1 xnm디자인노드의집적회로,기판,장비제조를위한DUV(深紫外)감도와빠른처리속도를갖춘패턴이없는웨이퍼표면검사시스템
Surfscan SP5XP：1 xnm미만디자인노드의집적회로,기판,장비제조를위한DUV(深紫外)감도와빠른처리속도를갖춘패턴이없는웨이퍼표면검사시스템
Surfscan SP5:2 x / 1 xnm디자인노드의집적회로,기판,장비제조를위한DUV(深紫外)감도와빠른처리속도를갖춘패턴이없는웨이퍼표면검사시스템
Surfscan SP3:2Xnm디자인 노드의 집적회로, 기판, 장비 제조를 위한 DUV（深紫外）감도와 빠른 처리속도를 갖춘 패턴이 없는 웨이퍼 검사 시스템
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전자빔웨이퍼결함리뷰및분류시스템
eDR7380™전자빔(ebeam)웨이퍼결함리뷰및웨이퍼결함분류시스템은고해상도결함이미지를검출하여웨이퍼에대한결함분포를정확하게표시합니다。다양한전자광학전용인렌즈검출기를보유한eDR7380는섬세한EUV光刻층,높은종횡비트렌치층및전압명암비층을포함한공정단계에걸쳐결함시각화를지원합니다。고유의Simul-6™기술은정확한결함원인파악및신속한이탈점감지를위해단일테스트에서완전한관심결함파레토를생성합니다。광대역광학패턴웨이퍼검사기를위한IAS™와베어웨이퍼검사기를위한OptiSens™등의연결성기능을보유한eDR7380는IC및웨이퍼제조과정중빠른수율학습을위한解放军검사기에독특한연결고리를제공합니다。
애플리케이션
결함이미징,자동인라인결함분류및성능관리,베어웨이퍼출고및입고품질제어,웨이퍼분류,热点검출,결함검출,EUV打扮,공정윈도우검출,공정윈도우인증,斜角엣지리뷰。관련제품
eDR7280:≤16 nm디자인노드IC개발및생산을위한5세대전자빔浸광학을탑재한전자빔웨이퍼결함리뷰및분류시스템
功能®은解放军기업이등록한상표입니다
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패턴화되지않은웨이퍼결함검사시스템
Surfscan®SP A2및Surfscan®SP A3패턴화되지않은웨이퍼검사시스템은자동차,物联网,5 g,가전제품및산업(군사,항공우주,의료),응용프로그램용으로제조한칩의성능과신뢰성에영향을주는결함및웨이퍼표면품질문제를식별합니다。이러한검사시스템은툴,프로세스및재료를검증하고모니터링하여IC, OEM,재료및기판제조를지원합니다。Surfscan SP Ax시스템은DUV레이저및최적화된검사모드를사용하여팹결함감소전략을지원하는데필요한민감도를제공합니다。표준암시야및선택적명시야검사모드가동시에실행되어수율임계와잠재적인신뢰성결함유형을캡처하고분류할수있습니다。업계를선도하는Surfscan플랫폼을기반으로구축된Surfscan SP A2和A3검사기는150毫米,200毫米300毫米및웨이퍼를지원하며다양한애플리케이션이요구하는비용과성능목표를충족하도록유연하게구성가능합니다。
Surfscan SP3 / Ax브로셔를다운로드하려면여기를클릭하세요。
애플리케이션
프로세스검증,툴검증,툴모니터링,출하웨이퍼품질관리,입고웨이퍼품질관리,프로세스디버그
관련제품
SurfServer®:호환가능한Surfscan시스템간의레시피이동성을촉진하는레시피관리시스템으로팹내플릿관리를간소화합니다。
Surfscan SP7XP:패턴화되지않은웨이퍼표면검사시스템으로5 nm미만설계노드에서IC,기판및장비제조시DUV감도와높은처리량을제공합니다。
Surfscan SP7:패턴화되지않은웨이퍼표면검사시스템으로1 xnm미만설계노드에서IC,기판및장비제조시DUV감도와높은처리량을제공합니다。
Surfscan SP5XP:패턴화되지않은웨이퍼표면검사시스템으로1 xnm설계노드에서IC,기판및장비제조시DUV감도와높은처리량을제공합니다。
Surfscan SP5:패턴화되지않은웨이퍼표면검사시스템으로2 x / 1 xnm설계노드에서IC,기판및장비제조시DUV감도와높은처리량을제공합니다。
Surfscan SP3:패턴화되지않은웨이퍼표면검사시스템으로2 xnm설계노드에서IC,기판및장비제조시DUV감도와높은처리량을제공합니다。
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웨이퍼제조를위한데이터관리
FabVision®데이터관리소프트웨어는웨이퍼및기판(衬底)제조업체를위한실시간데이터관리기능을제공합니다。FabVision은제품품질,검사및계측정보를지속적으로모니터링하고보고하며관리합니다。운영관리를개선하기위해웨이퍼제조공정사고경고,일일보고와선별데이터는전세계적으로자동으로전송되어운영을보다효율적으로관리할수있습니다。통합데이터베이스를통해제품이력및품질에관한문의사항을빠르게분석한후답변을제공할수있습니다。실시간웨이퍼생산정보를보유한FabVision은수율손실로이어질수있는웨이퍼제조공정이탈점을사전에검출하기위해관리,엔지니어링및운영상에필요한데이터를생성합니다。
애플리케이션
수율분석,웨이퍼결함데이터관리,웨이퍼제조공정모니터링,출고웨이퍼품질관리상세한제품상담을원하시나요?
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컴파운드반도체소재를위한첨단표면검사
烛光®8720年컴파운드반도체소재표면검사시스템은전력소자,통신및射频소자와첨단领导(향후microLED도포함)생산에중대한영향을미칠수있는결함에대해고감도의GaN——관련소재,砷化镓기판과에피공정제어를가능하게합니다。고유의광학설계와검출기술을탑재한烛光8720은현재검사방법으로는일관되게파악하지못하는초미세결함을검출및분류하여수율을제약하는결함에대한생산라인모니터링을지원합니다。
烛光®CS920
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광발광계측및표면결함검출을위한통합솔루션
전력소자제조업체를위한烛光®CS920 SiC기판및에피택시(epi)웨이퍼표면결함검사시스템은전체표면고감도결함검사및정확한공정피드백을제공합니다。해당에피웨이퍼표면결함검출시스템은산업내에서SiC에피및실리콘상의GaN공정에대한에피택셜성장수율을최적화하고SiC기판품질을개선하도록지원합니다。CS920은표면아래의기초면전위및전체에피스태킹오류를포함한수율에중대한영향을주는결함을검출할수있는단일검사플랫폼내광발광및표면결함검출기술을통합하여원인파악시간을줄이고수율을상당히개선합니다。
애플리케이션
공정모니터,툴모니터,입고품질관리,출고품질관리상세한제품상담을원하시나요?
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하드디스크드라이브미디어및기판결함검사및분류시스템
하드디스크드라이브제조를위한烛光®71 xx시리즈첨단미디어및기판결함검출및분류시스템은수율을극대화하고하드디스크검사비용을낮춥니다。듀얼광학경로구성은마이크로피트,범프,이물및매립된결함등의중대한영향을미칠수있는미세결함에대한고유의결함시그니처분류를가능하게합니다。烛光7110구성은검사를위한기판의수동로딩을지원하며烛光7140은완전히자동화된카세트-투카세트기판로딩을제공합니다。
고민감(HS)옵션은유리원판및금속기판검사에대한첨단민감도및검출율을제공합니다。