제품설명
P-17은40년의표면계측경험을기반으로된된된된된산업을선도하는이시스템은스티칭이최대시스템스캔스티칭없스텝이,조도,보우및의의및3d측정을지원합니다。
UltraLite.®센서,일정한힘제어와평면스캐닝스테이지를결합하여우수한측정안정성을달성합니다。레시피는상면도및측면도광학과광학줌기능을탑재한고해상도카메라및포인트및클릭스테이지제어를통해빠르고쉽게설정할수있습니다。P-17은표면형상측정을정량화하기위한다양한필터링,수평화및분석알고리즘을통해2 d및3 d측정을지원합니다。패턴인식,시퀀싱및기능검출로완전한자동화측정을달성합니다。
기능
- 스텝높이:나노미터에서1000µm
- 일전일전한힘을제어제어하는낮은의힘:0.03¼50mg
- 스티칭없이샘플의직경스캔
- 영상:5 mp고해상도컬러카메라
- 아크교정:스타일러스의아크모션으로인한제거
- 소프트웨어:사용하기쉬운소프트웨어인터페이스
- 생산역량:완전히자동화된시퀀싱,패턴인식및秒钟/宝石
애플리케이션
- 스템스템이:2D및3D스텝높이
- 텍스처:2 d및3 d조도및파형
- 형태:2d및3d보우및형태
- 응력:2 d및3 d얇은박막응력
- 결함리뷰:2D및3D결함표면형상
산업
- 대학교,연구실험실및기관
- 반도체및컴파운드반도체
- LED:발광발광이오드
- 太阳能
- MEMS:미세전자기계시스템
- 데이터스토리지
- 자동차
- 의료소자
- 기타:요구사항에대해연락주세요