缺陷检测系统
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烛光®缺陷检测系统可以检测和分类化合物半导体基片(GaN, GaAs, InP，蓝宝石，SiC等)和硬盘驱动器上的广泛的关键缺陷，在生产吞吐量上具有高灵敏度。
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自1997年推出坎德拉光学表面分析仪(OSA)以来，我们的技术专家一直在为化合物半导体和数据存储市场引入缺陷灵敏度和分类方面的关键创新。我们的检测技术为每一个新产品的发布提供性能改进，包括我们行业领先、屡获殊荣的能力，将高速表面缺陷检测和光致发光计量在一个单一平台上结合。了解更多关于我们坎德拉缺陷检查员的丰富的创新历史。
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Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。