产品描述
Zetascan提供高吞吐量玻璃面板检查，用于显示和太阳能应用，包括玻璃上的顶部和底部粒子，滑雪素，凹坑，凹凸，划痕，嵌入式缺陷和GaAs上的薄膜缺陷。宏观和微缺陷分类使用光学签名和缺陷属性的组合。Zetascan检测系统的高灵敏度提供了一种具有成本效益的解决方案，适用于工艺开发和高批量制造过程控制。
特征
- 检测玻璃晶片和面板上的缺陷
- 允许将晶片的手动负载高达Gen2尺寸和2.5mm的厚度
- 检测粒子，划痕，凹坑，凸起污渍和其他表面缺陷
用例
- 基板质量控制
- 传入的晶圆质量控制（IQC）
- 外出晶圆质量控制（IQC）
- CMP（化学机械工艺）/抛光过程控制
- 晶圆清洁过程控制
- 过程工具监控
