光学剖面
创新的历史
ADE相移释放Microxam光学分析仪Angstrom-level敏感性用于超光滑表面的相移干涉测量和用于较大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。
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KLA收购ADE公司，增加了microxam - 100光学分析器KLA的台式计量组合，以及半导体市场的衬底几何和缺陷检测解决方案。
Zeta-20是Zeta仪器的第一个产品释放。
Zeta-20是业界首款使用的光学轮廓仪ZDot™是一种合并结构照明的专利技术，共焦光学，以生成高分辨率的三维表面形貌数据和表面的真彩色图像。这种技术使用户可以很容易地将焦点对准任何透明或不透明的表面，以便快速测量台阶高度和粗糙度。多模光学扩展了非接触式三维表面轮廓仪的能力，将ZDot与白光干涉测量、剪切干涉测量、透明薄膜反射仪和自动缺陷检测相结合。
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Zeta-200具有自动X-Y级和支持LED应用的新功能。
Zeta-200光学剖面仪利用高传输光学设计、背面照明和专有算法来测量有图案的蓝宝石衬底(PSS)。该系统可以适应各种PSS凹凸形状，测量所有PSS凸块的高度和间距在视场中，从而避免了错误的凹凸特征或结果倾斜，只测量一个小的区域。采用多模光学系统，该系统还能够在PSS制造过程中测量薄膜厚度和样品弓度。最后，通过自动缺陷检测，Zeta-200可以识别缺陷，如丢失的碰撞、划痕和颗粒。
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Zeta-280增加了一个单一的盒式，台式处理器到Zeta-200平台。
新的泽塔-300型轮廓仪支持测量X-Y和Z尺寸较大的设备．该系统与环境噪声隔离与集成的隔离表和隔音罩。
微流体装置支撑件在Zeta-20利用ZDOT释放™和透明，多表面测量应用。
Zeta-20使用ZDot技术和多表面应用来提供微流体封装器件的创新测量解决方案．高透射光学设计允许ZDOT信号即使通过多层后也保持强劲。这使得能够测量盖板，通道深度和在用盖玻璃封装器件之前和之后的微流体通道内的控制结构的尺寸。封装后测量是关键的，因为封装可以改变通道和控制结构形状，影响器件的性能。
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Zeta-380结合了Zeta-280台式处理器和Zeta-300平台。
microxam - 800结合了最好的硬件和算法来自Ambios和ADE相移干涉测量平台的新，创新，易于使用的软件，自动测量台阶高度和粗糙度。
Zeta-20发布增强性能，解决太阳能行业的独特挑战。
Zeta-20提供创新的解决方案对于太阳能产业来测量纹理过程的3D表面形貌和金属接触线。纹理测量对于控制金字塔结构的高度，形状和尺寸分布，影响太阳能电池的光捕获效率至关重要。银接触线沉积有丝网工艺，导致接触线的宽度，高度，体积和电阻的宽度，以及装置的成本。开发了高动态范围测量模式，以满足具有非常不同的反射率的材料。对于太阳能电池制造，需要使用抗反射涂层测量沉积在金字塔纹理上的银接触线的高动态范围。
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Zeta-360和第一代Zeta-388产品提供了新的选择自动晶圆处理能力在Zeta平台上。
推出ProfilM3D光学分析器，提供基于经济实惠的干涉式3D表面形貌测量解决方案。
结合了其成功的薄膜反射计产品线Filmetrics的设计优化®开发经济实惠，易于使用的光学分析器，具有多种成像技术，可以解决各种应用，包括膜厚度，表面粗糙度，步高度和地形。
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Zeta Instruments加入KLA仪器组，扩展KLA的光学轮廓计产品系列，添加ZDOT和多模式测量技术。Zeta系列支持R＆D，生产和全自动录像带到盒式磁带环境，用于测量3D表面形貌。
的Filmetrics ProfilmOnline®软件使用户能够存储，共享和分析3D数据，而无需桌面计算机。
利用网络浏览器和功能强大的智能手机，Filmetrics推出了世界上唯一的网络应用用于光学剖面仪、扫描探针显微镜(如AFMs)等三维成像显微镜采集的三维地形数据的在线存储、查看和分析。用户只需单击一次，就可以从Filmetrics Profilm3D光学轮廓仪中无缝地上传数据，分析数据，并与同事共享图像和测量结果。专用的手机和平板电脑应用程序允许用户在任何设备上、任何地点查看自己的数据。
Zeta-388赢得了2018年化合物半导体工业计量奖的图案蓝宝石衬底(PSS)应用。
TotalFocus™能力添加到Profilm3d中，提供3D自然彩色图像他们的样品表面与每个像素在焦点中。
Zeta-388是最新一代光学剖面仪，具有盒式到盒式晶片处理能力。
随着自动化晶圆处理能力的增加，新的数据分析软件，以及对SECS/GEM的支持，Zeta-388被设计为生产车间内的全自动测量．现在，随着相移干涉测量和新的自动多游标数据分析，快速、高分辨率的浅层步长测量成为可能。新型光源增强了深宽比沟槽的全自动测量。该系统提供了生产价值的过程控制测量，如在有图案的蓝宝石基片上凸起高度，粗糙度和台阶高度。
Filmetrics加入KLA Instruments集团，成为Filmetrics, A KLA公司。beplay官网uedFilmetrics系列薄膜测量仪器扩展了KLA的台式计量能力到测量薄膜厚度，n, k．FimenTrics Profilm3D光学分析器延长了测量表面形貌的KLA仪器线，为不需要KLA现有仪器的完整功能的应用提供了一种新的选择。
Profilm3d-200功能有200毫米行程的机动舞台和200mm直径晶圆的适配器。