薄膜测量系统
薄膜测量系统
的Filmetrics®经济实惠的反射仪系列在几秒钟内提供高精度薄膜厚度测量。这些易于使用的工具与智能软件和广泛的附件和配置相结合,可在薄膜厚度测量范围内提供1nm至3mm的最大多功能性。
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将F40的小测量光斑尺寸与集成相机相结合,使用R-Theta平台自动绘制直径达300mm的晶圆。F54先进光谱反射率系统可快速方便地绘制直径高达450mm的样品薄膜厚度。
Filmetrics f54 - xy - 200
F54-XY-200是一种用于测量薄膜厚度,折射率,反射,吸收和表面粗糙度的自动台式映射系统。五种配置覆盖薄膜厚度高达120μm,点尺寸为2μm至100μm。
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从1995年推出第一款薄膜测量仪器开始,Filmetrics的技术专家一直在继续生产关键的创新产品,如AutoBaseline™,使用胶片厚度图像的模式识别,以及内置自动波长校准。超过二十年,Fimentrics提供的创新技术和无与伦比的应用支持为客户提供了可重复且值得信赖的薄膜计量测量。了解有关丰富的创新历史,并了解为什么电影分子仪反射计是薄膜测量的标准。
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