Surfscan^®系列

Surfscan^®系列

无图案晶圆检测系统

Surfscan^®无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备,工艺和材料进行认证和监控,能够迅速找到表面的缺陷,从而支持IC, OEM,材料和衬底制造。

2835年,2367年

2835年,2367年

宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统

2835年和2367年宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能,能够在≥45 nm制程的逻辑,内存和专业元件上对良率关键缺陷进行监控。每个型号的系统都配备特定可选的波长照明、成像像素、光学模式和先进的噪声抑制和缺陷分类算法，为最关键的工艺层提供经济高效的在线检测控制。

彪马^™91 xx

彪马^™91 xx

激光扫描图案晶圆缺陷检测系统

彪马™9130和9150激光成像检测仪将紫外线照明光学组件与多个高速成像传感器相结合,提供一系列光学模式,用于在图案化产品晶圆上对关键缺陷进行在线检测。91 xx以其高采样率高,产量和高灵敏度,能够更有效地捕获和控制关键前段(FEOL)和后段(BEOL)工艺层上影响良率的缺陷。91 xx很好地补充了KLA 2367全光谱紫外/可见光和2835 DUV/紫外/可见明场检测仪，从而可以实现完整的混合搭配图案晶圆检测策略。

功能^™-5210年

功能^™-5210年

电子束晶圆缺陷检视和分类系统

功能^™-5210电子束(电子束)晶圆缺陷检视和晶圆分类系统可拍摄高分辨率的缺陷图像,准确呈现晶圆上的缺陷种类。eDR提供与解放军的检测系统特别的连接,以便在IC和晶圆制造过程中更快地提升良率。